世界速讯：世界上分辨率最高的商用钨灯丝扫描电镜问世

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11月24日，国仪量子（合肥）技术有限公司召开电子显微镜新品发布会，基于我国制造业转型升级的长期发展战略，推出了世界上首台分辨率达到2.5纳米的商用可量产钨灯丝扫描电子显微镜SEM3300，突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。

电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的物理、化学性质，如形貌、成份、结构等信息，是材料研究、质量控制与失效分析等领域应用的强大工具。

钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易于维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点，便于大众使用。但长期以来，钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前，难以实现用户对更高分辨率的追求。

国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关，通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素，开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10千伏高压管（高压隧道技术）的解决方案，并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。

据悉，钨灯丝扫描电镜SEM3300在20千伏分辨率达到2.5 纳米，比普通钨灯丝电镜提高了16%，成为了目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜；同时，作为钨灯丝扫描电镜“王者”，SEM3300在任意电压下都表现出优秀的分辨力——在3千伏分辨率达到4 纳米，相比普通钨灯丝电镜提高了2倍；在1千伏分辨率达到5 纳米，相比普通钨灯丝电镜提高了3倍，满足了更多材料的分析测试需求。

同时，国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM2000和场发射扫描电镜SEM4000。