普达特科技推出首台16腔半导体清洗设备

界面新闻记者 | 彭新

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新晋半导体设备公司普达特科技走向重要节点。8月10日，港股上市公司普达特科技公告，向客户发货OCTOPUS平台半导体湿法清洗设备，订单收入暂未确认。

普达特科技介绍，此次出货的OCTOPUS平台用于硅晶圆清洗，去除硅晶圆黏附颗粒及有机/无机杂质，其采用16腔的设计，提高了晶圆吞吐量，较同类产品高出17-25%。此外，OCTOPUS平台腔体和化学药液供应系统采用同垂直面数组布局，提高了化学药液回收效率，可降低化学品消耗成本。

普达特科技研发人员介绍，在半导体设备领域，普达特科技业务目前主要包含CUBE系列和OCTOPUS系列两大平台，CUBE平台最多可配置4个腔室，此次出货的半导体清洗设备是OCTOPUS平台首发产品。普达特科技首席执行官刘二壮向界面新闻解释，主流半导体设备腔室为12个，OCTOPUS平台配置的16个腔室提高了生产率，此外，新平台可以覆盖晶圆制造的前道和后道两种工艺环节，适用性更佳。

刘二壮未透露此次OCTOPUS平台出货客户，仅称该设备将出货存储器行业，用于客户下一代工艺研发环节。

半导体设备是晶圆制造上游环节，涉及晶圆制造的光刻、刻蚀、离子注入等步骤，而清洗步骤又覆盖硅片制造、晶圆制造、封装多个环节。湿法清洗采用化学药液和去离子水，对晶圆表面进行无损伤清洗，以去除晶圆制造过程中的杂质。根据Gartner 2021年数据，2020年全球半导体清洗设备市场规模约为33.41亿美元，预计2021年为39.18亿美元，2022年为43.24亿美元。

国产半导体设备企业仍处于初期阶段，目前全球知名半导体设备厂商有ASML、应用材料、泛林集团等，在各自领域均处于垄断地位，在国内，半导体设备企业的发展以2019年为转折点，相关企业纷纷涌现。据统计，目前国内半导体设备累计注册企业数量达到85307家，2021年注册数量达到23062家，2022年为16769家。半导体设备每个细分设备领域，在国内均能找到4-5家相关企业。

但国产半导体设备国产化比例极低，据国海证券研究所统计，光刻机国产化率低于1％，过程检测设备约为2％，离子注入设备3％，刻蚀设备7％，薄膜沉积设备8％，涂胶显影设备8％，CMP设备10％，清洗设备20％，对比2016年半导体设备国产化进程虽持续提升，但依然任重道远。

普达特科技为半导体设备“新军”，前身为IDG能源投资，2022年7月更名为普达特科技，向泛半导体领域转型，该公司称，已将主营业务调整半导体和太阳能电池行业设备制造，并拥有部分中国原油资产。根据2022年财报显示，普达特科技半导体设备及太阳能设备业务收入占营收比重达到67%。2022财年内，普达特科技发货太阳能和半导体设备共29台，截至2023年6月29日，普达特科技累计订单总量为117台，累计发货为65台。

然而，芯片市场持续低迷，部分晶圆厂对扩产持谨慎态度，普达特科技如何看其半导体设备后市需求？刘二壮告诉界面新闻，从国产化角度来看，半导体设备国产化比例仍不及20%，市场对国产半导体设备的需求仍然很高。

目前，普达特科技半导体清洗设备生产基地主要位于徐州，按照规划，徐州普达特科技生产基地半导体清洗设备产能为100台/年，未来可至300台/年，以支持市场扩张。除半导体清洗设备外，普达特科技还计划涉足展CVD（化学气相沉积）设备业务，前期计划投资1.4亿元，预计2024年相关产品进入商业生产阶段。